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区熔炉
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区熔炉

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区熔加热炉接纳往复区熔的方法,闭环温度控制,牢靠的控制熔区的宽度题目;生长室的设计乐成办理生长室的净化题目,将加热及保温质料均设置在生长腔室内部,接纳高纯石英作为腔室,同时抽真空;将活动高纯氢气通入腔室,去除腔室中的微量氧,办理氧化的题目;开辟高柔性的控制软件,接纳触摸屏举行操纵,恣意设置区熔的温度,区熔的速率及次数。关于高纯气路柜外部和石英管的密封部位增长燃气报警器,经过设置装备摆设的电气控制完成互锁,一旦有走漏,主动封闭加热炉及进气通道,改冲高纯氮气,同时大抽速真空体系立刻启动,抽走伤害气体,具有超压主动堵截进气并声光报警。

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