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退火炉
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退火炉

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产品形貌

      退火炉设置装备摆设用于改进单晶质料的品格,体系装备有抽真空、充气、加热和温控体系,能对腔室内的温度及真空度举行控制和监测,使用质量流量控制器控制气体的流量。体系次要无机架、加热炉、真空体系、充气体系等几大局部构成。
      质料提纯设置装备摆设概述:
      为晶体生长的前道工艺设置装备摆设,为质料提纯设置装备摆设,确保质料终极的纯度抵达7N(99.99999%)尺度,设置装备摆设自创乌克兰提纯设置装备摆设的原理,联合客户的工艺研发的设置装备摆设:分区熔炉和精馏炉,经过这2种工艺设置装备摆设终极取得半导体级的高纯质料;

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